石墨烯生長爐（PECVD）產(chǎn)品說明：

　　石墨烯生長爐由BLMT-GT管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成，可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，在真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。

　　管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。

　　軟件控制系統(tǒng)：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出。

　　一：基本參數(shù)：

　　1:加熱爐部分

　　2:爐膛模式開啟式爐膛

　　3:顯示模式觸摸屏

　　4:溫度1400℃

　　5:工作溫度≤1350℃

　　6:升溫速率建議10℃/Min Max：30℃/Min

　　7:預(yù)熱溫區(qū)長度150mm

　　8:主溫區(qū)長度300mm

　　9:預(yù)熱溫區(qū)移動手動移動

　　10:主溫區(qū)移動自動移動，速度可以設(shè)定

　　二：設(shè)備特點(diǎn)：

　　1:設(shè)備規(guī)格2000*85*1400mm（長*寬*高）

　　2:爐管長度2000mm

　　3:控溫精度±1℃

　　4:密封方式快速法蘭密封

　　5:溫度曲線30段"時間—溫度曲線"任意可設(shè)

　　6:預(yù)存曲線可預(yù)存15條溫度曲線

　　7:超溫報警有

　　8:過流保護(hù)有

　　9:斷偶提示有

　　10:測溫元件s型熱電偶

　　11:爐膛材料氧化鋁纖維

　　12：射頻電源功率

　　13：信號頻率13.56 MHz±0.005%

　　14：功率輸出范圍5W-500W

　　15：功率穩(wěn)定度±0.1%

　　16：諧波分量≤-50dbc

　　17：供電電壓單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ

　　18：整機(jī)效率>=70%

　　19：功率因素>=90%

　　20：冷卻方式強(qiáng)制風(fēng)冷

　　真空部分

　　1：工作電電壓220V±10%50~60HZ

　　2：功率500瓦

　　3：抽氣速率4L\s

　　4：進(jìn)氣口口徑KF25

　　5：排氣口口徑KF25

　　6：轉(zhuǎn)速1450rpm

　　7：噪音55dB

　　9：真空4X10-2Pa

　　氣路系統(tǒng)

　　1,2,3,4氣路采用DB07系列

　　準(zhǔn)確度：±1.5%

　　重復(fù)精度：±0.2%

　　響應(yīng)時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

　　工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

　　整機(jī)系統(tǒng)特色

　　正壓測量-100Kpa---100Kpa

　　真空測量-100Kpa

　　超壓保護(hù)超壓保護(hù)值可以設(shè)定

　　壓力恒定恒定壓力值可以設(shè)定

　　智能氣路氣路系統(tǒng)可以編程

　　氣路定時通氣時間可以設(shè)定

　　射頻工作時間設(shè)定輝光放電時間可以設(shè)定，自動關(guān)機(jī)

　　移動速度調(diào)節(jié)移動速度可以設(shè)定

　　系統(tǒng)真空度5Pa